Glossar

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Carbon Black

Englisch für Industrie-Ruß. Pulverförmiger Feststoff, der zu 80 bis 99,5 % aus Kohlenstoff besteht.

CED

Abkürzung für "Controlled Etching of Dislocations" bzw. Kontrolliertes Ätzen von Versetzungen. Beim CED wird ein Funktionsfeld auf einer Siliziumoberfläche mit sog. "Nanohügeln" erzeugt. Dahinter steht ein bekanntes Verfahren aus der Halbleiterproduktion: Zwei identische Wafer werden in einem bestimmten, genau kontrollierten Winkel verdrillt (verzwillingt). So entsteht ein Bikristall.

Cluster

Ein Cluster ist in der Chemie eine Verbindung mit mindestens drei Metallatomen, die durch Metall-Metall-Bindung miteinander verknüpft sind (Metall-Cluster). In der Physik bezeichnet es ein mesoskopisches System, das im Übergangsbereich zwischen Einzelatomen/-molekülen und Kristall liegt.

CMOS

CMOS-Bausteine sind integrierte Schaltkreise; es werden gleichzeitig p-Kanal als auch n-Kanal MOSFETs verwendet.

CVD

Der CVD-Prozess kann zur Herstellung von Nanoröhren oder zur Beschichtung von Wafern mit Siliziumnitrid oder Siliziumoxid genutzt werden. Für CVD-Prozesse in Horizontal- oder Vertikalöfen werden Quarzboote benutzt. Die aufzubringenden Stoffe werden als Gase in einen Ofen geleitet, wo sie sich zer- und absetzen.

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